Енишерлова-Вельяшева К.Л. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / К. Л. Енишерлова-Вельяшева, 1998. - 46 с. - Текст : непосредственный.