Полное описание

Jeugd, C. A.van der Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF6/GeH4 : diss. / C.A.van der Jeugd. - Delft : [s. n.], 1992. - 112 p. : ill. - Текст : непосредственный.
Рез.гол.Библиогр. в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(043)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/24489)

Шифр в сводном ЭК: 6c3c27fc4006b3f2eabb40e59ed916d8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽