Полное описание

Саунин, С. А. Методы оптического и микрозондового тестирования поверхности и их применение в микро- и наноэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / С. А. Саунин. - М., 1998. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Гос. НИИ физических проблем им.Ф.В.Лукина. Библиогр.:с. 23-25(30 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-3634)

Шифр в сводном ЭК: 1011da6958bbc817e626cbd2d961bcb3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽