• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Mieroprocess'89 : proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama ; Ed.: S. Namba, T. Kitayama. - Tokyo : [s. n.], 1989. - 385 p. : ill. - (Japanese journal of applied physics: JJAP series ; n3). - ISBN 4-900526-03-7. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце ст.Указ. в конце кн.
    Перевод заглавия: Микропроцессъ89:Труды межд. симп. 1989 Кобе

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84:776(062)

    Рубрики:
    Фотолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
    Доп. точки доступа:
    Namba, S.\ed.\
    Kitayama, T.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/898/3)

    Шифр в сводном ЭК: a6dd611ef045d8f020fa1d5fcad693ee



    Заказ фрагмента документа ₽