Полное описание

Ниматов, С. Ж. ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Ж. Ниматов. - Ташкент, 1991. - 22 с. : табл. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : АН УзССР. ИН-т электроники им.У.А.Арифова. Библиогр.:с. 19-22(24 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.211(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-05719)

Шифр в сводном ЭК: f827e2d00bfe7a4431d867e1979aca78

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽