Полное описание

Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Ионная имплантация : учеб. пособие / В. Т. Бублик [и др.] ; Национальный исследовательский технологический ун-т (Москва), Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков . - М. : Издат. дом МИСиС, 2013. - 66 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 64-66 (38 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-87623-695-1. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. материаловедения полупроводников и диэлектриков.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:669.046.516
47.01.77	621.38-03:548.7

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение
Электронные материалы -- Методы исследования

Доп. точки доступа:
Бублик, В.Т.
Щербачев, К.Д.
Воронова, М.И.
Мильвидский, А.М.
Национальный исследовательский технологический ун-т (Москва). Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-13/1208)

Шифр в сводном ЭК: 530dee89e76fffb58dbbe6b6226d0e64

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽