Полное описание

Булыгина, Е. В. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина. - М., 1997. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.15-16 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)
47.13.11

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-260)

Шифр в сводном ЭК: c6a3f2507263022872303501665eba1c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽