Полное описание

Бычков, С. П. Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / С. П. Бычков. - 2019. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (6 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА -- ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-6003)

Шифр в сводном ЭК: ac1f40a4277807b4572c46fc36565a00

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽