Полное описание
> Adams, T. M. Introductory mems : fabrication and applications / T. M. Adams, R. A. Layton ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0. - ISBN 978-0-387-09511-0. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
45.53 | 621.31-184.4 |
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- ПРИМЕНЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Layton, R.A.
SpringerLink (Online service)
http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -751594)>
Шифр в сводном ЭК: 7de4662d2e12d461b401aac712a189f2
Просмотр издания