Полное описание

Forschungszentrum (Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : сборник научных трудов / FZKA. - Karlsruhe : [s. n.], 19 - . - ISSN 0947-8620. - Текст : непосредственный.
7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr. - Karlsruhe : FZKA, 2006. - IV, 71 S. : Ill.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77.002:776(043)

Рубрики:
Рентгенолитография

Доп. точки доступа:
Achenbach, S.
Mohr, J.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20061108 : ХР (-20061108)
Свободны: ХР (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/7215)

Шифр в сводном ЭК: 61fd97862d208091a05eeccc777d6d79

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽