Полное описание

Комаров, Ф. Ф. Ионная имплантация / Ф.Ф.Комаров,А.П.Новиков,А.Ф.Буренков;Под ред. Ф.Ф.Комарова. - Минск : Унiверсiтэцкае, 1994. - 303 с. : ил. - 300 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.289-301 (347 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Новиков, А.П.
Буренков, А.Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/23671)

Шифр в сводном ЭК: 5a9d3a69a29c707182c1d6bb0db82886

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽