• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Sub-quarter-micron silicon issues in the 200/300 mm conversion Era: Proc.of the E-MRS IUMRS ICEM 2000 meet., Symp.L / Ed. H. FuSstetter. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2001. - VII, 232 p. 232 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2001,Vol.56,N 1/2). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст. Указ.:с.229-232

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.382.002(063)
    621.315.592(063)

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Производство -- Съезды и конференции
    Кремний -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    FuSstetter, H.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2001,Vol.56,N 1/2)

    Шифр в сводном ЭК: 2b3e805c1bf2d4a564fc2e3a8571f366