Полное описание

Бурдюх, С. В. Модификация свойств оксидов ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / С. В. Бурдюх. - 2018. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.383:669(043)

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-3804)

Шифр в сводном ЭК: 2266a99caef5ffed712a84a6b1a922ce

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽