Полное описание

Бритвин, А. А. Моделирование процессов механической обработки пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов свободным абразивом : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. А. Бритвин. - М., 2007. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-27 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.315.592.002(043)
	621.315.61.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-7999)

Шифр в сводном ЭК: 03f4de3efcea7722beabe34c500c57cd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽