Царьгородцев Ю.П. Интенсификация процессов массопереноса в установке с СВЧ-ЭЦР-плазмой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / Ю. П. Царьгородцев, 1997. - 19 с. - Текст : непосредственный.