Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А.Ф.Буренков,В.А.Жук,А.И.Кирковский,В.А.Цурко, 1991. - 25 c. - Текст : непосредственный.
Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация / Ф.Ф.Комаров,А.П.Новиков,А.Ф.Буренков;Под ред. Ф.Ф.Комарова, 1994. - 303 с. - Текст : непосредственный.