• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Reduced thermal processing for ULSI : proc. of a NATO advanced study inst.on reduced thermal processing for ULSI held June 20-Jyly 1, 1988, Boca Raton / ed. R. A. Levy ; Ed. R. A. Levy. - New York, NY [etc.] : Plenum press, 1989. - XI,438 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.B, Physics ; vol.207). - ISBN 0-306-43382-6. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст.Указ.:с.435-438

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.771.14.002(063)

    Рубрики:
    Интегральные схемы большие -- Термическая обработка -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
    Доп. точки доступа:
    Levy, R.A.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/9393/207)

    Шифр в сводном ЭК: e411627d315c8c4e4c79a6f866696fd9



    Заказ фрагмента документа ₽