Полное описание
> Rogers, J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications / J. A. Rogers, H. H. Lee. - Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2008. - on-line. - URL: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789. - Загл. с титул. экрана. - ISBN 978-0-470-40578-9. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.33 | 621.3.049.76-047.84 | |
47.33.37 | 621.3.049.77-047.84:776 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Фотолитография
Доп. точки доступа:
Lee, H. H.
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ?-807261758)>
Шифр в сводном ЭК: c71baf10049e3098f731734cbdfdfdcc
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания