Полное описание

Advanced gate stack technology 2008 : sel. papers from the SEMATECH SPCC 2010 / ed. B. H. Lee ; Ed. B. H. Lee. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011. - 3377-3469, III p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2011, Vol. 88, iss. 12). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.032.27(063)

Рубрики:
Электроды полупроводниковых приборов -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Lee, B. H.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2011, Vol. 88, iss. 12)

Шифр в сводном ЭК: b33b213878f344223bd5edc2efe976ae

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽