Полное описание

Зорина, Д. Д. Влияние дозы кислорода и условий термообработки на возможность создания нанокластерных систем в скрытом слое кремниевых структур / Д. Д. Зорина, Н. П. Пронь, С. А. Кривелевич. - Текст : непосредственный // Радиационная физика твердого тела : тр. XXII Междунар. конф. (9-14 июля 2012 г., Севастополь). - М. : НИИ ПМТ, 2012. - С. 160-167. - Библиогр.: 8 назв.
ГРНТИ 47.03.13

Кл.слова (ненормированные): боросиликатное стекло
Аннотация: Проведенное комплексное исследование процессов формирования скрытых боросиликатных слоев подтвердило возможность формирования сплошных скрытых изолирующих областей боросиликатного стекла и создания на их основе структур типа "кремний на изоляторе".
Доп. точки доступа:
Пронь, Н.П.
Кривелевич, С.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20120918 : ПНТ (-20120918)
Свободных экз. нет
Экз.Э12-56452 (ПНТ) занят;
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -092007-321390)

Шифр в сводном ЭК: 8c79b5b5295ad94d6071efc55f46c785