Полное описание

Елшин, А. С. Фундаментальные основы технологии фемтосекундной лазерной кристаллизации сегнетоэлектрических микроструктур для устройств микро- и оптоэлектроники и их нелинейно-оптическая диагностика : специальность 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. С. Елшин. - 2018. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-25. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.33	621.315.612-047.84(043)
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)
47.33.33	621.383:658.562(043)

Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ -- ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ПРОИЗВОДСТВО -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МИКРОСТРУКТУРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-10049)

Шифр в сводном ЭК: 358e88bb16a902a4952b25e69c408bac

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽