Полное описание
> Micro-and nanoengineering 94 : MNE'94 : proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.26-29,1994,Davos / Ed. H. W. Lehmann. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1995. - XVII,564 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.27,N 1-4,1995). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
ГРНТИ | УДК | |
47.33.37 | 621.3.049.76(063) | |
81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Lehmann, H.W.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.27,N 1-4,1995)>
Шифр в сводном ЭК: 12838c29add49e598143e6646692beca
Заказ фрагмента документа ₽