Полное описание

Ли Цзень Фень. Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.00.02, 01.04.04 / Ли Цзень Фень. - 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-13978)

Шифр в сводном ЭК: 51547aec9b365561ead536121b7afea5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽