Полное описание
> Ярышевский, М. А. Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / М. А. Ярышевский. - М., 1991. - 23 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 21-23(16 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002(043) | |
681.586'33(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-013135)>
Шифр в сводном ЭК: 2d831d772b021a934eae4e4cfd58a0f8
Заказ фрагмента документа ₽