Полное описание

Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления / И. Ш. Абдуллин, В. С. Желтухин, И. Р. Сагбиев, М. Ф. Шаехов. - Казань : Казан. гос. технол. ун-т, 2007 (Казань). - 355 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 1000 экз. - ISBN 978-5-7882-0553-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Казан. гос. технолог. ун-т

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621:539.4

Рубрики:
Плазменная обработка материалов

Доп. точки доступа:
Абдуллин, И.Ш.
Желтухин, В. С.
Сагбиев, И. Р.
Шаехов, М. Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-07/53260)

Шифр в сводном ЭК: d5c17eb327a6e17a8184fa9160f38839

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽