Полное описание

Шевяков, В. И. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Шевяков. - М., 1998. - 53 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 47-53 (53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-4122)

Шифр в сводном ЭК: 6b207b38126667719a08469f45325fc4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽