Полное описание

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Шевяков, М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общ. ред. Ю. А. Чаплыгин. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 с. : ил., табл., схем. - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712948 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр. в кн. - ISBN 978-5-00101-814-8. - текст : электронный.

	УДК
	621.382.049.77.002(07)

	ББК
	32.844.15-06я73

Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНИК ДЛЯ ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ
Аннотация: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Доп. точки доступа:
Шевяков, В. И.
Королёв, М. А.
Крупкина, Т. Ю.
Ревелева, М. А.

https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712948

Держатели документа:
ЭБС Университетская библиотека онлайн : 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, стр. 3 (Шифр в БД-источнике (BIBLIO): 712948)

Шифр в сводном ЭК: 528b47dc30a3e51e92a59fc96d74e772

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация