Полное описание
> Gonzalez Ruiz, P. Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors / P. Gonzalez Ruiz, K. De Meyer, A. Witvrouw. - Dordrecht : Springer, 2014. - on-line. - (Springer Series in Advanced Microelectronics, ISSN 1437-0387 ; vol. 44). - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook. - Загл. с экрана. - ISBN 978-94-007-6799-7. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586 | |
47.33 | 621.315.592.9 |
Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- КМОП-СТРУКТУРЫ -- КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
Доп. точки доступа:
Meyer, K. De
Witvrouw, A.
https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-779999/44)>
Шифр в сводном ЭК: edfe53da8980229219beab3cc9a91c3b
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания