Йе Тун Тэйн.Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Йе Тун Тэйн, 2014. - 24 с. - Текст : непосредственный.