Полное описание

Сошина, Т. О. Разработка многослойных пленок на основе чередующихся по составу и строению слоев нитридов титана и алюминия с градиентом функциональных свойств : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.16.09 / Т. О. Сошина. - 2015. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-20 (24 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.31.31	661.882.41-416(043)
	661.862.41-416(043)

Кл.слова (ненормированные): ИМПУЛЬСНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ПЛЕНКИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ -- ПЛЕНКИ НИТРИДА ТИТАНА -- ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-10401)

Шифр в сводном ЭК: f653957f0be18b6182ffe32f5047b922

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽