Полное описание

Сошников, И. П. Исследование закономерностей и особенностей распыления полупроводниковых материалов А В при бомбардировке ионами Ar ,Xe ,N и смесью ионов Ar -I : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / И. П. Сошников. - СПб, 1996. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе.Библиогр.:с. 20-22(20 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-305)

Шифр в сводном ЭК: ed533be25ca49e5141b7c033e6e02d64

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽