Полное описание

Кремниевые наноструктуры. Физика. Технология. Моделирование / А. С. Рудый [и др.].; под общ. ред. В. И. Рудакова ; Физ.-технол. ин-т, Яросл. фил. - Ярославль : Индиго, 2014. - 559 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - 100 экз. - ISBN 978-5-91722-225-7. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9-022.532

Рубрики:
Кремниевые наноструктуры

Аннотация: В коллективной монографии рассмотрены физические явления, лежащие в основе технологических процессов изготовления кремневых наноструктур. Представлены и обобщены данные об особенностях формирования наноструктур на основе кремния. Рассмотрены традиционные и новые подходы к проблеме моделирования технологических процессов.
Доп. точки доступа:
Рудый, А.С.
Куликов, А.Н.
Метлицкая, А.В.
Проказников, А.В.
Аржанова, Н.А.
Рудаков, В.И.\ред.\
Физико-технологический ин-т (Москва). Ярославский филиал

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-14/58423)

Шифр в сводном ЭК: da6010e54f2c6a2a420c3f6a38b4acd7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽