Полное описание

The physics and fabrication of microstructures and microdevices : материалы временных коллективов / Ed.: M. J. Kelly, C. Weisbuch. - Berlin [etc.] : Springer, 1986. - XI,469 p. p. : ill. - (Springer proceedings in physics ; n13). - ISBN 3-540-16898-2. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.469

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77(063)
47.33.37	621.3.049.76(063)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Kelly, M.J.\ed.\
Weisbuch, C.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/14981/13)

Шифр в сводном ЭК: d66e39d1fbce9274649eaa5642313d31

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽