Полное описание

Козин, К. А. Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремния ФГУП "ГХК" : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / К. А. Козин. - 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (12 назв.). - .

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.68.094.1(043)

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ СТЕРЖНИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СТЕРЖНЕВЫЕ РЕАКТОРЫ -- ХЛОРСИЛАНЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : г. Москва, ул. 3-я Хорошёвская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР10-сф28265)

Шифр в сводном ЭК: c48c1f7f8360cb5ac4d170a94428fcfe

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽