Полное описание

Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Кручинин Д. Ю. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - 52 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/68508.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-7996-1110-1. - Текст : электронный.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	776

	ББК
	37.83я73

Кл.слова (ненормированные): ЗЕРКАЛЬНОЕ ПОКРЫТИЕ -- МАСКИРУЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ -- ОПТИЧЕСКАЯ ДЕТАЛЬ -- ОПТИЧЕСКАЯ ШКАЛА -- ПРОИЗВОДСТВО ДЕТАЛИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОРЕЗИСТ -- ФОТОШАБЛОН
Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
Доп. точки доступа:
Фарафонтова, Е. П.

Перейти к просмотру издания

Держатели документа:
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 68508)

Шифр в сводном ЭК: b4ef20d6595c682cead15d05be567f27

Просмотр издания ЭБС IPR SMART