Полное описание

Технология полупроводникового кремния / Э.С.Фалькевич,Э.О.Пульнер,И.Ф.Червоный и др.;Под ред. Э. С. Фалькевича. - М. : Металлургия, 1992. - 407 с. : ил. - 1170 экз. - ISBN 5-229-00740-0. - Текст : непосредственный.
Авт.указ.на обороте тит.л.Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002

Рубрики:
Кремний -- Обработка

Доп. точки доступа:
Фалькевич, Э.С.
Пульнер, Э.О.
Червоный, И.Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/1000)

Шифр в сводном ЭК: a8160c4cfa5304147b6829d75246bce2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽