• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Nastasi, M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-45298-0. - ISBN 978-3-540-45298-0

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77:669

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ЭПИТАКСИЯ
    Доп. точки доступа:
    Mayer, J.W.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-45298-0


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.793.184/N25-404101)
























    Шифр в сводном ЭК: a082847af1ed14be96cca2267cb86694



    Просмотр издания