Полное описание

Allen, J. J. Micro electro mechanical system design / J. J. Allen. - Boca Raton, Fl [etc.] : Taylor & Francis group, 2005. - 465 p. : il. - Указ.: с. 453-465. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Проектирование

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27621)

Шифр в сводном ЭК: 9bebe6017935569ab4151cc5751c2a71

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽