Полное описание

Фам Куанг Тунг. Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе "кремний - диоксид кремния" для элементов и устройств вычислительной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.05 / Фам Куанг Тунг. - 2009. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-025.27(043)
	004.3-03(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-4278)

Шифр в сводном ЭК: 8e22bab7a519f404631fc84fff28ea8d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽