Полное описание

Получение и оптические исследования сквозной трехслойной наноструктуры на кремнии / В. А. Юзова, М. А. Герасимова, Ф. Ф. Меркушев, А. Е. Крум. - Текст : непосредственный // Ультрадисперсные порошки, наноструктуры, материалы. VI Ставеровские чтения : тр. Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием, посвящ. 30-летию открытия наноалмазов, 9 - 12 сент. 2012 г., Бийск. - Красноярск, 2012. - С. 137-140. - Библиогр.: 10 назв.
ГРНТИ 47.13.07

Аннотация: Получена сквозная трехслойная структура "макропористый - мезопористый - макропористый кремний" на кремниевой пластине новым методом. Отличие разработанной технологии заключается в том, что травление кремния производится на большую глубину одновременно с двух сторон кремниевой пластины, что дает возможность избежать дополнительных операций удаления монокристаллического слоя. Исследована однородность оптических свойств внешних макропористых слоев по спектрам фотолюминесценции. Экспериментально показано коротковолновое смещение максимума спектра испускания фотолюминесценции и снижение его интенсивности в зависимости от уменьшения длины волны возбуждения (глубины проникновения излучения в пористый слой).
Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.
Герасимова, М.А.
Меркушев, Ф.Ф.
Крум, А.Е.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20130214 : ПНТ (-20130214)
Свободны: ПНТ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -614532-007954)

Шифр в сводном ЭК: 848af1b6ff9530b49dc0379854ad9023

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽