Полное описание
> Козин, К. А. Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремния ФГУП "ГХК" : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / К. А. Козин. - 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (12 назв.). - .
ГРНТИ | УДК | |
61.31.47 | 661.68.094.1(043) |
Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ СТЕРЖНИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СТЕРЖНЕВЫЕ РЕАКТОРЫ -- ХЛОРСИЛАНЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : г. Москва, ул. 3-я Хорошёвская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР10-сф28265)>
Шифр в сводном ЭК: 721566724dfbfca9c6813dd8212fffb0
Заказ фрагмента документа ₽