Полное описание

Руденко, К. В. Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / К. В. Руденко. - М., 2007. - 45 с. - Библиогр.: с. 41-45. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)
	621.384-022.532:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-1086)

Шифр в сводном ЭК: 61c9719dbfb6c8f25e664099c2bbc57e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽