• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Kwatera, A. Modelowanie chemicznego procesu osadzania cienkich warstw z fazy gazowej w warunkach kontrolowanych dyfuzja reagentow do podloza / A.Kwatera. - Krakow : [s. n.], 1991. - 108 s. : il. - (Zeszyty naukowe / Akademia gorniczo-hutnicza im.Stanislawa Staszica(Krakow) ; 1438) (Ceramika ; z.62). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.в конце книги
    Перевод заглавия: Моделирование химического процесса осаждения тонких слоев в газовой фазе в контролируемых условиях диффузии реагентов на подложке

    ГРНТИ УДК
    29.19.16539.23

    Рубрики:
    Пленки -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/122/1438/62)

    Шифр в сводном ЭК: 6080f8ce7e71b0ace60c4c2a2122e27b



    Заказ фрагмента документа ₽