Полное описание

Шикова, Т. Г. Исследование закономерностей формирования тонких пленок металлов и их оксидов плазменными методами / Т. Г. Шикова, И. В. Холодков. - Текст : непосредственный // Исследования и разработки в области нанотехнологий - 2011. - Иваново, 2011. - С. 82-110. - Библиогр.: 17 назв.
ГРНТИ 47.09.37

Кл.слова (ненормированные): диоксид олова -- оксид индия
Аннотация: Отработка технологических режимов получения пленок SnO₂, ITO (In₂O₃-SnO₂), обладающих высокой прозрачностью и проводимостью Исследование оптических, электрических и морфологических свойств полученных тонких пленок.
Доп. точки доступа:
Холодков, И.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего -40280524 : ПНТ (-20140306), ХРЦ (-20140218)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -822801-940581)

Шифр в сводном ЭК: 55d678f0d0b25e793bb5b326e69f7c2f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽