Полное описание

Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин. - Л. : [б. и.], 1991. - 66 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.Ленингр. ин-т авиац. приборостроения. Библиогр.: с. 65 (6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛЕНОЧНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Нефедов, В.Г.
Гусев, О.Б.
Кулешов, Ю.С.
Шакин, О.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/92852)

Шифр в сводном ЭК: 3399f72c33f493feead0ced2f47bc8b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽