Полное описание

Фатьянова, Г. И. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / Г. И. Фатьянова. - М., 2005. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22(34 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-7173)

Шифр в сводном ЭК: 2d978612b1ab2008b295baef218eddb3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽