Полное описание

Peters, D. Herstellung und Untersuchung von PECVD-Siliziumoxinitridschichten fur die integrierte Optik / D.Peters. - Dusseldorf : VDI, 1991. - IX,210 S. S. : Ill. - (Fortschritt-Berichte. R.10, Informatik/Kommunikationstechnik / Verein dt.Ing. ; N180). - ISBN 3-18-148010-X. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.131-137

ГРНТИ	УДК
29.33.39	621.3.049.77.082.5

Рубрики:
Интегральная оптика

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/356/180)

Шифр в сводном ЭК: 0f4af63e94c78c093b3e7a6bcaaa0586

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽