Полное описание
> Фантиков, В. С. Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.17.01 / В. С. Фантиков. - 2009. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (26 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
53.49.15 | 669.3.017:539.216.2(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-2689)>
Шифр в сводном ЭК: 0c4a3de3847b735c399d4100a37ee017
Заказ фрагмента документа ₽