Полное описание
> Артемов, А. С. Инновационные аспекты технологии химико-механического нанополирования (ХМП) материалов полупроводниковой электроники / А. С. Артемов, И. Г. Рузавин, С. Б. Фарафонов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии и наноматериалы : современное состояние и перспективы развития в условиях Волгоградской области. - Волгоград : ВолГУ, 2009. - С. 27-50. - Библиогр.: 1 назв.
ГРНТИ 47.03.01
Аннотация: Обобщены результаты экспериментального изучения четырех аспектов технологии ХМП полупроводников - химического, механического, коррозионно-электрохимического и механохимического.
Доп. точки доступа:
Рузавин, И.Г.
Фарафонов, С.Б.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего -20100913 : ХР (-20100913)
Свободны: ХР (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -383097-630816)>
Шифр в сводном ЭК: 046251f1a8ff383b95d06d552e5d8709
Заказ фрагмента документа ₽