Полное описание

Шаяпов, В. Р. Физико-химические свойства пленок, образующихся в плазмохимическом процессе осаждения из паров гексаметилдисилазана : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 02.00.04 / В. Р. Шаяпов. - Новосибирск, 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.21.29	547.245.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): ГАЗОВАЯ ФАЗА -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-31923)

Шифр в сводном ЭК: 03d30e10daae4d93d278e15b94ae1f1b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽